Kriogeninis ASU puslaidininkių gamybai

Kriogeninis ASU puslaidininkių gamybai

Shenger Gas kriogeninio oro atskyrimo įrenginiai yra pagrindinė proceso įranga, specialiai sukurta pažangioms pramonės šakoms, tokioms kaip puslaidininkių lustų gamyba. Naudodami patikrintą kriogeninio distiliavimo technologiją, atmosferos orą jie padalija į itin-aukšto-grynumo azotą, deguonį ir argoną. Ši produktų linija, orientuota į puslaidininkių gamybos kriogeninio ASU dizaino koncepciją, užtikrina stabilų ir patikimą proceso dujų, kurių grynumo lygis pasiekia ppb diapazoną, tiekimą – tai yra esminis pagrindas palaikant lustų išeigą, proceso nuoseklumą ir bendrą gamybos efektyvumą.
Siųsti užklausą
Pokalbis dabar
produkto pristatymas

Shenger Gas kriogeninio oro atskyrimo įrenginiai yra pagrindinė proceso įranga, specialiai sukurta pažangioms pramonės šakoms, tokioms kaip puslaidininkių lustų gamyba. Naudodami patikrintą kriogeninio distiliavimo technologiją, atmosferos orą jie padalija į itin-aukšto-grynumo azotą, deguonį ir argoną. Ši produktų linija, orientuota į puslaidininkių gamybos kriogeninio ASU dizaino koncepciją, užtikrina stabilų ir patikimą proceso dujų tiekimą, kurių grynumo lygis pasiekia ppb diapazoną - ir yra esminis pagrindas palaikant lustų išeigą, proceso nuoseklumą ir bendrą gamybos efektyvumą.

 

Kodėl puslaidininkių gamybai reikalingi specialūs kriogeniniai oro atskyrimo įrenginiai?

Puslaidininkių gamybos procesai -, tokie kaip cheminis nusodinimas garais, fotolitografija ir ėsdinimas -, reikalauja itin didelio dujų grynumo, stabilumo ir tiekimo tęstinumo. Net nedideli drėgmės, deguonies ar angliavandenilių priemaišų kiekiai gali sukelti plokštelių defektus arba visišką partijos atmetimą. Shenger Gas puikiai supranta šiuos griežtus pramonės reikalavimus. Mūsų kriogeniniai puslaidininkių gamybos sprendimai yra specialiai sukurti siekiant išspręsti šiuos iššūkius, - užtikrinant itin grynų, stabilių ir nenutrūkstamų dujų tiekimą, užtikrinantį išeigą, proceso tikslumą ir gamybos patikimumą.

 

Pagrindiniai privalumai ir savybės

1. Itin-Aukštas grynumas ir išskirtinis stabilumas

  • Giliai integruojant daugiapakopes{0}}distiliavimo kolonėles ir molekulinio sieto gryninimo sistemas, Shenger Gas ASU nuolat tiekia azotą, kurio grynumo lygis didesnis arba lygus 99,9999 %, o pagrindinės priemaišos (H₂O, O₂, THC, CO, CO₂) yra griežtai kontroliuojamos ppb diapazone.
  • Išmani valdymo sistema efektyviai kompensuoja tinklo svyravimus ir apkrovos pokyčius, užtikrindama stabilų išėjimo slėgį ir grynumą -, visiškai atitinkantį 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę, 7 dienas per savaitę, keliamus puslaidininkinių gaminių gamybos reikalavimus.

2. Didelis patikimumas ir energijos vartojimo efektyvumas

  • Pagrindiniai komponentai, tokie kaip plokšteliniai{0}}pelekiniai šilumokaičiai ir kriogeniniai vožtuvai, yra tiekiami iš pirmaujančių tarptautinių prekių ženklų, todėl užtikrinama aukšta sistemos integracija, minimalus gedimų skaičius ir vidutinis laikas tarp gedimų (MTBF), gerokai viršijantis pramonės standartus.
  • Naudojant optimizuotą energijos atgavimo sistemą ir didelio{0}}efektyvumo turbo-plėtimo technologiją, bendras specifinis energijos suvartojimas vienam gaminio dujų vienetui žymiai sumažinamas, todėl klientai sutaupo ilgalaikes{2}} veiklos išlaidas.

3. Sumanus valdymas ir nuotolinė priežiūra

  • Įrengta „Shenger Gas“ patentuota „Shenger Smart Gas Cloud“ stebėjimo platforma, sistema įgalina{0}}sekti našumą realiuoju laiku, nuspėti gedimus ir analizuoti energijos-efektyvumą.
  • Ji palaiko nuotolinę diagnostiką ir techninę pagalbą, labai sutrumpina atsako į techninę priežiūrą laiką ir teikia patikimą, efektyvią po{0}}pardavimo paslaugą klientams visame pasaulyje.

4. Modulinis dizainas ir mastelio keitimas

  • Modulinė sistemos architektūra užtikrina kompaktišką struktūrą, patogų transportavimą ir greitą{0}}įrengimą bei paleidimą vietoje, efektyviai sutrumpinant projekto statybos ciklus.
  • Gamybos pajėgumai yra labai keičiami, todėl galima lanksčiai konfigūruoti, kad ateityje būtų galima išplėsti gamyklas, - užtikrinant ilgalaikes kliento investicijas- ir veiklos tvarumą.

 

Techninės specifikacijos (įprastas pavyzdys)

Parametras

Specifikacija / diapazonas

Produkto dujos

Didelio grynumo azotas (HPN₂), didelio grynumo deguonis (HPO₂), didelio grynumo argonas (HPAr)

Azoto gamybos pajėgumai

500 ~ 50 000 Nm³/h (pritaikoma pagal užsakymą)

Azoto grynumas

Didesnis arba lygus 99,9999 % (iki 99,99999 %)

Rasos taškas

Mažiau arba lygi –70 laipsnių (pasirenkama konfigūracija žemiau –100 laipsnių)

Išėjimo slėgis

0,5–1,2 MPa.G (reguliuojamas)

Pagrindinės priemaišos

O₂ Mažiau arba lygu 1 ppb, H2O Mažiau arba lygu 1 ppb, THC (kaip CH₄) Mažiau arba lygu 1 ppb

Pastaba: Aukščiau pateiktos specifikacijos atspindi bendruosius parametrų diapazonus. Galutinės konfigūracijos nustatomos atsižvelgiant į konkrečius projekto ir proceso reikalavimus.

 

Taikomosios pramonės šakos

„Shenger Gas“ kriogeninės oro atskyrimo sistemos, išnaudojančios savo pagrindines galimybes tiekti itin -aukšto-grynumo ir labai stabilias dujas, yra ne tik puslaidininkių gamybos pagrindas, bet ir plačiai taikomos kitose aukštųjų -technologijų pramonės šakose, kur dujų kokybė yra labai svarbi misija-.

  • Plokščiųjų ekranų gamyba

Visam OLED, Micro-LED ir kitų naujos-kartos ekranų plokščių - gamybos procesui, įskaitant masyvo gamybą, spalvų filtrą, elementų surinkimą ir modulių inkapsuliavimą -, mūsų sistemos tiekia didelius kiekius itin-aukšto-grynumo azoto. Taip sukuriama švari atmosfera be deguonies-be drėgmės-, kuri veiksmingai apsaugo nuo plonos {{9}plėvelės tranzistorių ir organinių liuminescencinių medžiagų oksidacijos, užtikrinant didesnį derlių ir ilgesnį produkto naudojimo laiką.

  • Fotoelektra ir nauja energija

„Shenger Gas“ sprendimai palaiko fotoelektros pramonę silicio valymo, kristalų augimo ir elementų dengimo procesuose, taip pat kritiniuose ličio baterijų gamybos etapuose, pvz., elektrodų džiovinimo, elektrolitų užpildymo ir sandarinimo -, kurie yra itin jautrūs drėgmei ir deguoniui. Mūsų patikimas ir ekonomiškas-efektyvus didelio-grynumo dujų tiekimas pagerina gaminio našumą, energijos tankį ir bendrą saugumą.

  • Aukštos{0}}chemijos ir farmacijos produktai

Smulkioje cheminėje sintezėje, specialių medžiagų gamyboje ir biofarmacijos procesuose mūsų dujos naudojamos reaktoriaus uždengimui, atmosferos pakeitimui ir kaip reakcijų padavimo dujos. Dėl išskirtinio stabilumo ir pažangios automatikos valdymo mūsų kriogeninės sistemos atitinka griežtus pramonės standartus, susijusius su procesų vientisumu, saugumu ir produktų nuoseklumu.

  • Moksliniai tyrimai ir aviacija

„Shenger Gas“ teikia kriogeninę aplinką ir specialius dujų sprendimus, skirtus neribotoms reikmėms, pvz., didelio masto -dalelių fizikos eksperimentams, aerokosminių vėjo tunelių bandymams ir superlaidžių medžiagų tyrimams. Stabilus ir patikimas mūsų kriogeninių ASU veikimas palaiko nacionalinio-lygmens mokslinės infrastruktūros kūrimą ir pažangiausių-technologijų pasiekimus.

 

Kokybė ir sertifikatai

Shenger Gas yra įsipareigojusi laikytis aukščiausių tarptautinių kokybės ir saugos standartų. Kiekviena mūsų pristatoma kriogeninė puslaidininkių gamybos sistema yra suprojektuota, pagaminta ir išbandyta pagal griežtas pasaulines sistemas, siekiant užtikrinti patikimumą, nuoseklumą ir atitiktį visuose etapuose - nuo inžinerinio projektavimo iki eksploatavimo vietoje.

  • Kokybės valdymo sistema: sertifikuota pagal ISO 9001:2015, užtikrinanti visišką-procesų kokybės kontrolę nuo projektavimo, pirkimo, gamybos iki aptarnavimo po pardavimo.
  • Slėginiai indai ir vamzdynai: visi kritinio slėgio komponentai ir vamzdynų sistemos yra suprojektuoti ir pagaminti pagal ASME BPVC VIII skyriaus 1 skyrių ir sertifikuoti pagal NB (Nacionalinės valdybos) sistemą, garantuojančią vidinę įrangos saugą.
  • Elektros ir saugos atitiktis: visiškai atitinka IEC/EN tarptautinius standartus ir turi visapusiškas saugos prietaisų sistemas (SIS), skirtas blokuoti ir apsaugoti procesus.
  • Pramonės standartai: sistemos dizainas ir veikimas griežtai atitinka SEMI (Tarptautinės puslaidininkių įrangos ir medžiagų) gaires ir geriausios praktikos pavyzdžius, taikomus puslaidininkinėms{0}}klasės dujų tiekimo sistemoms.

 

Būdama pirmaujanti Kinijos pramoninių dujų pramonės įmonė, Shenger Gas turi daugiau nei 20 metų kriogeninių technologijų patirtį ir didelę projektų vykdymo patirtį. Teikiame ne tik pažangią įrangą, bet ir visapusiškas inžinerines paslaugas -, įskaitant projektų konsultacijas, procesų projektavimą, montavimą ir paleidimą, eksploatavimo mokymus ir atsarginių dalių palaikymą. Pasirinkus kriogeninį ASU puslaidininkių gamybai, reikia pasirinkti patikimą ilgalaikį -partnerį, skirtą pasaulinės puslaidininkių tiekimo grandinės patikimumui ir konkurencingumui didinti.

 

Jei ieškote patikimo didelio{0}}grynumo dujų tiekimo sprendimo puslaidininkių gamybos projektui, šiandien kviečiame susisiekti su Shenger Gas inžinierių komanda. Mūsų patyrę specialistai pateiks jums pritaikytą-techninį pasiūlymą ir labai konkurencingą pasiūlymą, kad atitiktų tikslius jūsų projekto reikalavimus.

 

01

02

03

04

05

06

Populiarus Žymos: kriogeninis asu puslaidininkių gamybai, Kinijos kriogeninis asu puslaidininkių gamybos gamintojams, tiekėjams, gamyklai

Siųsti užklausą

Namuose

Telefono

El. paštas

Tyrimo